光盘生产考试
溅镀机不抽真空怎么办？
题目
溅镀机不抽真空怎么办？
参考答案和解析
正确答案:先清洁溅镀仓，再手动抽预抽泵和分子泵，看能否达到。如能达到即可。
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相似问题和答案
第1题：
溅镀机发生短路怎样做？
正确答案:溅镀机发生短路应清洁阴极和O型圈。
第2题：
溅镀机在运行当中，报警短路并不溅镀应立即做哪些工作？
正确答案:立即停机检查mask是否有银屑脱落，主仓是否清洁。
第3题：
怎样校正溅镀机PA？
正确答案: 当溅镀机PA取片不好或发现盘片在PA处有划伤时，就要校正PA。
（1）将溅镀机与传送梁连接的螺栓松开，SA升起，PA在0°或180°位置UP位置，关掉压缩空气，加上校正工具，检查PA在传送梁上的位置是否正确。如果不正确，用手锤轻轻撞动溅镀机达到位置，然后紧固。
（2）拆下校正工具，给上压缩空气，手动吸真空，但取片是否正常，如果PA过高、过低时，关掉真空泵、压缩空气，松开螺栓，将溅镀机地脚升起或落下。
（3）重复1、2步骤，直到PA在传送梁上取片正常，PA位置正确位置。
第4题：
溅镀机抽不上真空怎样解决？
正确答案:检查mask、靶材，清理密封圈及主仓，再检查预抽泵油位。
第5题：
成品片有溅镀针孔是如何产生的？如何解决？
正确答案:溅镀腔内有碎屑，挡住了溅镀的金属层，溅镀完后碎屑脱落，形成针孔；清洁溅镀腔。
第6题：
8.0溅镀机触摸屏没溅镀界面不能进入，为什么？
正确答案:如果从溅镀机触摸屏的原文件也不能进入，说明文件丢失。就要重新安装程序。用U盘接入电脑的USB接口处，开启电脑，电脑会自动复制文件，并初始化进入溅镀界面，完毕后拔下U盘，可以准备开机。
第7题：
溅镀机抽不上真空有几种可能？
正确答案: （1）检查气管是否有漏气；
（2）清理PA、SA与主仓接触部位；
（3）检查真空泵油位情况；
（4）关闭程序，关闭电源，重新开机。
第8题：
水环式真空泵启动后不抽气或抽起量小的原因有哪些？
正确答案: ①电动机转动与泵不匹配
②抽气总管或支管阀门未打开
③吸排气口有异物堵塞
④真空泵两端盖严重磨损，平面间隙严重超限，导致真空泵效率降低
⑤吸人硬质异物，叶片受损
⑥端盖上填料严重磨损，漏气严重
⑦循环水箱水位太低，泵不能正常工作
⑧循环水箱水位太高，泵效率降低
第9题：
当溅镀机报警阴极短路时，操作员应如何处理？
正确答案:将溅镀机泄真空，将靶材取出，清洁阴极更换大、小mask。
第10题：
如何清理溅镀机？
正确答案:将溅镀机打到OFF状态，卸下MASK和靶材，将绝缘套用小刀清洁干净，再用酒精清洁PA、SA与主仓接触部位，最后安装好靶材和MASK，用吸尘器吸干净即可。