集成电路制造工艺员

()就是用功率密度很高的激光束照射半导体表面,使其中离子注入层在极短的时间内达到高温,消除损伤。A、热退火B、激光退火C、连续激光退火D、脉冲激光退火

题目

()就是用功率密度很高的激光束照射半导体表面,使其中离子注入层在极短的时间内达到高温,消除损伤。

  • A、热退火
  • B、激光退火
  • C、连续激光退火
  • D、脉冲激光退火
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第1题:

不锈钢用等离子切割机加工坡口后,应对其坡口处进行处理的方法是()。

A.低温退火
B.高温回火
C.酸洗及钝化
D.打磨掉表面热影响层

答案:D
解析:
本题的考点是不锈钢管的安装要求。 不锈钢管坡口宜采用机械、等离子切割机、砂轮机等制作,用等离子切割机加工坡口必须打磨掉表面的热影响层,并保持坡口平整。2020版教材P301-308

第2题:

改善材料冲压性能的热处理方法一般用低温退火、()、局部退火等。

  • A、高温淬火
  • B、高温退火
  • C、高温回火
  • D、高温正火

正确答案:B

第3题:

灰铸铁的人工时效也就是( )

A.正火

B.高温退火

C.表面淬火

D.低温淬火


正确答案:D

第4题:

激光退火目前有()激光退火两种。

  • A、一般和特殊
  • B、脉冲和连续
  • C、高温和低温
  • D、快速和慢速

正确答案:B

第5题:

热退火用于消除离子注入造成的损伤,温度要低于杂质热扩散的温度,然而,杂质纵向分布仍会出现高斯展宽与拖尾现象,解释其原因。


正确答案: 离子注入后会对晶格造成简单晶格损伤和非晶层形成;损伤晶体空位密度大于非损伤晶体,且存在大量间隙原子和其他缺陷,使扩散系数增大,扩散效应增强;故,虽然热退火温度低于热扩散温度,但杂质的扩散也是非常明显的,出现高斯展宽与拖尾现象。

第6题:

在一定的温度和应力作用下,在一定时间内紧卷退火发生层间局部焊合的现象,就是()。


正确答案:粘接

第7题:

表面钝化工艺是在半导体芯片表面复盖一层保护膜,使器件的表面与周围气氛隔离。()


正确答案:正确

第8题:

不锈钢用等离子切割机加工坡口后,应对其坡口处进行处理的方法是()。

A:低温退火
B:高温回火
C:酸洗及钝化
D:打磨掉表面热影响层

答案:D
解析:
不锈钢管坡口宜采用机械、等离子切割机、砂轮机等制出,用等离子切割机加工坡口必须打磨掉表面的热影响层,并保持坡口平整。

第9题:

在实际工作中,常常需要知道离子注入层内损伤量按()的分布情况。

  • A、长度
  • B、深度
  • C、宽度
  • D、表面平整度

正确答案:B

第10题:

目前,最广泛使用的退火方式是()。

  • A、热退火
  • B、激光退火
  • C、电子束退火
  • D、离子束退火

正确答案:A

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