集成电路制造工艺员
真空镀膜室中的钟罩与底盘构成（）。A、衬底加热器B、抽气系统C、真空室D、蒸气源加热器
题目
真空镀膜室中的钟罩与底盘构成（）。
- A、衬底加热器
- B、抽气系统
- C、真空室
- D、蒸气源加热器
参考答案和解析
正确答案:C
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第1题：
空调系统中，对空气进行热湿处理的设备有()。
A:制冷系统
B:表面式冷却器
C:喷水室
D:加热器
B:表面式冷却器
C:喷水室
D:加热器
答案：B,C,D
解析：
空气热湿处理设备主要是对空气进行加热、加湿、冷却、除湿等处理。表面式冷却器、喷水室和加热器都属于空气热湿处理设备。
第2题：
在火电厂中，抽气逆止阀的主要作用是（）。
- A、阻止蒸汽倒流；
- B、保护汽轮机；
- C、保护加热器；
- D、快速切断气源
正确答案:B
第3题：
RH抽真空系统中伸缩接头的作用是连接抽气管道和()真空室弯管接头。
本题答案：密封
第4题：
冷端系统设备包括汽轮机低压缸、凝汽器、在真空状态下运行的低压加热器、循环水泵、冷却塔、抽气器、胶球清洗装置等。
正确答案:正确
第5题：
真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。
- A、隔挡气体交换
- B、控制蒸发的过程
- C、辅助热量交换
- D、温度调节
正确答案:B
第6题：
加热器运行排气门的作用是：（）
- A、排出部分蒸汽
- B、排出加热器中的不凝结气体
- C、提高换热效率
- D、保持加热器内的真空
正确答案:B,C
第7题：
真空镀膜室是由（）几部分组成。
- A、钟罩
- B、蒸气源加热器
- C、衬底加热器
- D、活动挡板
- E、底盘
正确答案:A,B,C,D,E
第8题：
空调系统的加热可采用()。
A.管式电加热器
B.裸线式电加热器
C.表面式换热器
D.液体吸湿剂
E.喷水室
正确答案：ABCE
第9题：
（）由钟罩、蒸气源加热器、衬底加热器、活动挡板和底盘构成。
- A、真空镀膜机
- B、真空镀膜室
- C、真空镀膜器
- D、真空镀膜仪
正确答案:B
第10题：
下列哪个设备不属于四效蒸发机组（）
- A、疏水器
- B、真空泵
- C、沸腾室
- D、加热器
正确答案:C