平板显示技术考试
简述干法刻蚀的物理作用和化学作用。
题目
简述干法刻蚀的物理作用和化学作用。
参考答案和解析
正确答案:物理作用的刻蚀类似于溅射成膜的原理，利用惰性气体的辉光放电产生带正电的离子，在电场作用下加速吸引到下电极上面的基板上，轰击刻蚀薄膜的表面，将薄膜原子轰击出来的过程。常用的惰性气体有氦气（He）、氩气（Ar）等。作用过程完全利用物理上能量的转移进行的，具有很强的刻蚀方向性，可以获得高的各向异性刻蚀断面，线宽控制非常好。
化学作用的刻蚀是一种纯粹的化学反应，利用各种源如射频、微波等，将气体电离产生化学活性极强的原子团、分子团等，扩散到刻蚀薄膜的表面与薄膜发生化学反应，生产易挥发的反应生成物，由真空泵抽离真空反应室。由于只有化学反应发生称之为化学反应刻蚀，类似于湿法刻蚀。只是反应物和生成物都是气态的，且由反应物的等离子体决定刻蚀速率。
化学作用的刻蚀是一种纯粹的化学反应，利用各种源如射频、微波等，将气体电离产生化学活性极强的原子团、分子团等，扩散到刻蚀薄膜的表面与薄膜发生化学反应，生产易挥发的反应生成物，由真空泵抽离真空反应室。由于只有化学反应发生称之为化学反应刻蚀，类似于湿法刻蚀。只是反应物和生成物都是气态的，且由反应物的等离子体决定刻蚀速率。
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相似问题和答案
第1题：
电流主要在三个方面对人体产生危害作用()。
A、热作用，生理作用，物理作用
B、热作用，生理作用，化学作用
C、热作用，物理作用，化学作用
D、生理作用，物理作用，化学作用
参考答案：B
第2题：
地质作用是指物理作用和化学作用。（ ）
此题为判断题(对，错)。
正确答案：√
第3题：
稀释、扩散、挥发、沉淀属于水体自净的()作用。
A、物理作用
B、化学作用
C、物理化学作用
D、生物作用
参考答案：A
第4题：
引起水质变化的原因有物理作用、化学作用和（）。
正确答案:生物作用
第5题：
采输设备表面生锈是（）。
- A、物理作用
- B、化学作用
- C、电化学作用
- D、化学作用和电化学作用
正确答案:B
第6题：
()可以分为物理作用、化学作用和物理化学作用、生物和生物化学作用等。它们同时发生,又相互影响。
A、水体自净作用
B、自净作用
C、大气自净作用
D、土壤自净能力
参考答案：B
第7题：
海水侵蚀作用的动力，包括哪三个方面？
A.物理作用、化学作用和生物作用 B.海水运动、化学作用和物理作用 C.海水运动、生物作用和化学作用 D.海水运动、生物作用和物理作用
A.物理作用、化学作用和生物作用 B.海水运动、化学作用和物理作用 C.海水运动、生物作用和化学作用 D.海水运动、生物作用和物理作用
答案：C
解析：
提示:海水运动对海岸起破坏作用。
第8题：
金属与周围介质发生化学、电化学作用或______而产生的变质和破坏称为腐蚀。
A.物理溶解
B.物理作用
C.电解作用
D.物理-化学作用
参考答案：A
第9题：
矿尘对人体危害作用有（）。
- A、化学作用、物理机械作用
- B、化学作用、职业病
- C、A和B
正确答案:C
第10题：
海水侵蚀作用的动力，包括哪三个方面？（）
- A、物理作用、化学作用和生物作用
- B、海水运动、化学作用和物理作用
- C、海水运动、生物作用和化学作用
- D、海水运动、生物作用和物理作用
正确答案:C