工学

填空题干法刻蚀的终点检测有许多方法,通常采用的是()终点检测方法。

题目
填空题
干法刻蚀的终点检测有许多方法,通常采用的是()终点检测方法。
如果没有搜索结果,请直接 联系老师 获取答案。
如果没有搜索结果,请直接 联系老师 获取答案。
相似问题和答案

第1题:

什么是反应终点?有哪些常用的监控方法?


答案:

反应终点是反应完成;测定反应系统中是否尚有未反应的原料(或试剂)存在;或其残存量是否达到一定的限度。在工艺研究中常用薄层色谱(TLC)或纸色谱、气相色谱或液相色谱等来监测反应。一般也可用简易快速的化学或物理方法,如测定其显色、沉淀、酸碱度、相对密度、折光率等手段进行监测。

第2题:

设备的状态监测应根据不同的检测项目采用不同的方法和仪器,通常采用的方法有( )。

A:直接检测
B:绝缘性检测
C:温度检测
D:润滑油品化学分析
E:泄漏检测

答案:A,B,C,E
解析:

第3题:

检测总补体活性,采用50%溶血试验是因为

A、50%溶血试验比100%溶血试验简单

B、以50%溶血作为终点较100%溶血作为终点更敏感

C、以50%溶血作为终点较100%溶血作为终点可节约时间

D、以50%溶血作为终点较100%溶血作为终点更为节省成本

E、以上都不对


参考答案:B

第4题:

终点碳的控制方法有()、()和()。


正确答案:一次拉碳法;高拉补吹法;增碳法

第5题:

反应终点的确定方法有哪些?TLC确定反应终点的原则是什么?


正确答案: (1)反应终点的控制,主要是控制主反应的完成;测定反应系统中是否尚有未反应的原料(或试剂)存在;或其残存量是否达到一定的限度。
(2)在工艺研究中常用薄层色谱(TLC.或纸色谱、气相色谱或液相色谱等来监测反应。一般也可用简易快速的化学或物理方法,如测定其显色、沉淀、酸碱度、相对密度、折光率等手段进行监测。
(3)实验室中常采用薄层色谱(TLC.跟踪检测,判断原料点是否消失或原料点几乎不再变化,除了产物和原料外是否有新的杂质斑点生成,这些信息可以决定是否终止反应。①原料点消失说明原料反应完全。②原料点几乎不再变化,说明反应达到平衡。③有新的杂质斑点,说明有新的副反应发生或产物发生分解。在药物合成研究中,常发现反应进行到一定程度后,微量原料很难反应完全,继续延长反应时间,则会出现新的杂质斑点的现象。
试验中一般在原料消失时或原料斑点几乎不变而末出现新的杂质斑点时停止反应,进行后处理。

第6题:

亚硝酸钠滴定法常采用的指示终点的方法有哪些?中国药典采用的是哪种?


答案:亚硝酸钠滴定法常采用的指示终点的方法有:电位法、永停滴定法、外指示剂法和内指示剂法。中国药典采用的是永停滴定法。

第7题:

酶活性测定方法中平衡法又称为()

  • A、中止反应法
  • B、终点法
  • C、动力学法
  • D、速率法
  • E、连续检测法

正确答案:B

第8题:

酶活性测定方法中的平衡法又称为

A、中止反应法

B、终点法

C、动力学法

D、速率法

E、连续检测法


答案:B
解析: 平衡法指通过测定酶反应开始至反应到达平衡时产物或底物浓度总变化量来求出酶活力的方法,又叫终点法。

第9题:

在干法刻蚀的终点检测方法中,光学放射频谱分析法最常见,简述其工作原理和优缺点。


正确答案: 光学放射频谱分析是利用检测等离子体中某种波长的光线强度变化来达到终点检测的目的。光强的变化反映了等离子体中原子或分子浓度的变化,根据检测的不同物质会有刻蚀终点光强增加与减弱两种状态。对于不同的刻蚀薄膜与刻蚀剂,有对应的需要检测的波长。不影响刻蚀的进行,且可对微小变化作出反应。光强正比于刻蚀速率,因此对刻蚀速率较慢的反映难以检测。刻蚀面积过小时,信号强度不足也会导致检测困难,如SiO2接触窗的刻蚀。

第10题:

()通常采用统计方法来进行检测

  • A、异常检测
  • B、特征检测
  • C、状态检测
  • D、协议分析

正确答案:A