在多晶硅薄膜制造装置中可使用RTP,将得到的灯光用(),然后缓慢地移动位置,使多晶硅薄膜再结晶化。
第1题:
简述采用9次光刻的多晶硅薄膜晶体管的工艺流程技术关键。
第2题:
在制造CIGS薄膜太阳能电池的方法中,广泛使用()
第3题:
第4题:
简述低温多晶硅薄膜晶体管特点。
第5题:
简述RTP在集成电路制造中的常见应用。
第6题:
在多晶硅薄膜制造装置中也可使用RTP,将得到的灯光用()聚光,然后缓慢地移动位置,使多晶硅薄膜再结晶化。
第7题:
目前,丝网模版晒版曝光用的光源主要采用()。
第8题:
简述采用8次光刻的多晶硅薄膜晶体管的工艺流程与非晶硅薄膜晶体管的不同。
第9题:
简述多晶硅薄膜晶体管驱动OLED的优点。
第10题:
简述采用5次光刻的多晶硅薄膜晶体管的工艺流程的难点与特点。